main

晶圓紫外線記憶抹除機(量產型)

  1. 首頁
  2. 產品與服務
  3. UV ERASE CURING系列
  4. 晶圓紫外線ERASE機
  5. 晶圓紫外線記憶抹除機(量產型)

晶圓紫外線記憶抹除機(量產型)

1.抽屜TRAY盤式設計,適合手動量產製程
2.單批次:12吋晶圓6片/8吋晶圓15片
3.254nm非接觸光波照射,無電弧損傷晶圓問題
4.無臭氧燈管設計,設備不需加裝熱排管
5.機體防漏光設計/門誤開熄燈設計,操作高安全性
6.操作及換燈簡易設計
檔案下載
詢問車 (0)

項次ITEM 規格SPECIFICATION
晶圓 12/8     INCH
設備尺寸 117x92x94 cm (WxDxH)
電力需求 220V  60HZ  1  PHASE
燈管型態/功率 格柵型汞燈/ 350 W

主要波長

 254  NM
安全設計 防漏光機箱 
安全設計 照射中誤開門熄燈設計 
安全設計 電源超溫跳脫設計 

適用產業/製程
1.EPROM/FLASH ROM晶圓記憶抹除(ERASE)製程
2.晶圓電性中和製程
3.晶圓乾式清潔去除有機物

關聯產品

12吋晶圓單片型

12吋晶圓單片型

自動晶圓紫外線記憶抹除機

自動晶圓紫外線記憶抹除機

晶圓紫外光ERASE-光清洗燈管

晶圓紫外光ERASE-光清洗燈管