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自動晶圓紫外線記憶抹除機

1. FOR 8"/12"晶圓進行全自動ERASE製程
2. 採用高強度柵型低壓汞燈;強烈254nm射線處理速度快,柵型面積均勻性佳
3. 模組化設計,1照射模組有3照射燈箱;最多可擴充3照射模組(9燈箱),WPH產速同型機最高
4. 照度即時監控設計
5. 換燈簡易設計

項目 規格
晶圓 12/8     INCH 
設備尺寸(寬x深x高) 210×265×235 cm (W×D×H)  
電力需求 220V  50/60HZ    3ø
燈管型態/功率 格柵型汞燈/ 350 W
主要波長 254  NH 
安全設計 防漏光機箱 
安全設計 安全門誤開熄燈/手臂停止 
安全設計 電源超溫跳脫設計 

1.EPROM/FLASH ROM晶圓記憶抹除(ERASE)製程

2.晶圓電性中型製程