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無風棒型靜電消除器MESD-NAB

先進製程無空壓靜電解決方案
(e.g., Mask room)

Model Guide for EFEM:
MESD-NAB-092 (EFEM 2-load port) -36”
MESD-NAB-142 (EFEM 3-load port) -56”
MESD-NAB-193 (EFEM 4-load port) -76”

項目

規格

輸入電源

24VAC、50/60Hz、1W type

設定方式

紅外線遙控器MSED-NAR、監控軟體

輸出離子高壓

0~20KVDC±10%

可單獨調整輸出比例以及週期

輸出電流

<20uA,內建電流、高壓監控機制

接線方式

RJ11電話線6p4c (24-26AWG芯線)

運作模式動作

脈衝、直流、休眠

輸出週期

0.0~10.0 秒

放電針

單晶矽(可替換) 壽命2~4年

調校

建議每3-12個月進行修正 (依照環境情況而定)

顯示

正負離子動作LED:當離子發射動作時,對應LED燈亮。

警報異常 LED(紅色):發射器本體異常時將亮燈。

同步信號:當控制器發送同步信號時,三個LED同時亮0.5秒。

安裝方式

雙面黏扣或固定支架

尺寸

MESD-NAB-058:22吋 / 56.6H x33.4W x572Lmm

MESD-NAB-073:28吋 / 56.6Hx33.4Wx729Lmm

MESD-NAB-114:44吋 / 56.6Hx33.4Wx1136Lmm

MESD-NAB-165:64吋 / 56.6Hx33.4Wx1644Lm

MESD-NAB-215:84吋 / 56.6Hx33.4Wx2142Lmm

MESD-NAB-092:36吋 / 56.6Hx33.4Wx914Lmm/(EFEM 2-load port)

MESD-NAB-142:56吋 / 56.6Hx33.4Wx1419Lmm/(EFEM 3-load port)

MESD-NAB-193:76吋 / 56.6Hx33.4Wx1924Lmm/(EFEM 4-load port)

建議環境

溫度:攝氏16-35℃ / 濕度:40-65% RH(室內)

海拔:2000m以下 / 過電壓類別:CAT II / 污染等級:2

臭氧濃度

0.005ppm 以下

認證

CE

 單位Unit:mm