| 可 部 分 區 域 吸 附 | 吸 附 力 分 佈 均 勻 |
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1.陶瓷孔徑:2~40um |
1.高平面度要求應用，適用如薄膜及薄物加工 |
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2.全氣孔率(孔隙率):40~60% |
2.低誘電率，防止靜電產生並能有效消散工件靜電 |
| 3.防靜電材料:10-6Ω~10-9Ω以上 |
| 產 品 應 用 | 多 孔 性 陶 瓷 特 性 |
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1.半導體晶圓吸盤，微小晶片設備產業。 |
1.零摩擦力 |
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2.TFT-LCD、LED、塗佈設備產業。 |
2.零耗損 |
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3.印刷電路板設備產業。 |
3.平面度精度佳 |
| 4.曝光機、玻璃切割機、玻璃基板氣浮搬運。 | 4.絕緣性能高 |
| 5.機械手臂搬運設備產業。 |
| 項目 | 規格 |
| 陶瓷孔徑 | 2μm〜20μm |
| 孔隙率 | 40%〜60% |
| 平面度 | 5μm~0.02mm(依客戶指定) |
| 外觀色澤 | 黑色/黑灰色 |
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★客製化:可依客戶需求，製作不同尺寸及形狀吸盤 |
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