可 部 分 區 域 吸 附 | 吸 附 力 分 佈 均 勻 |
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1.陶瓷孔徑:2~50um |
1.高平面度要求應用,適用如薄膜及薄物加工 |
2.孔隙率:40%±5% |
2.低誘電率,防止靜電產生並能有效消散工件靜電 |
3.靜電材料:10-6Ω~10-9Ω |
產 品 應 用 | 多 孔 性 陶 瓷 特 性 |
1.半導體晶圓吸盤: 專為半導體製程設備設計,提供穩定的吸附力,確保精密製程中的高效能與準確性。 |
♦ 高耐熱性 : 微細孔材質是高溫燒結而成的物質,本身具有耐高溫的特性。 |
2.AOI檢查平台: 廣泛應用於玻璃、晶圓及PCB軟板的缺陷檢測,提升生產線的檢測精度與效率,有效確保產品品質。 |
♦ 耐化學腐蝕性: 主要製造材料是惰性原料,對酸、鹼等化學反應較弱。 |
3.印刷電路板設備: 提供精密製程解決方案,滿足各種PCB設計需求,提升生產效率與產品品質。 |
♦ 耐磨耗性: 具備陶瓷堅硬的特性,耐損耗可長期使用。 |
4.曝光機、玻璃切割機及玻璃基板氣浮搬運系統: 提供精確、高效的處理與搬運解決方案,提升製程的生產效率與精度。 |
♦ 絕緣性高: 屬絕緣性材質,具備消散靜電特性。 |
5.機械手臂搬運設備: 專為高效自動化生產設計,提供精確搬運解決方案,提升生產線效率,廣泛應用於製造、組裝等領域。 |
♦ 輕量不發塵: 材質內部結構為均勻氣孔,比重係數為2.6〜3.8;完全燒結、不發塵 |
項目 | 規格 |
陶瓷孔徑 | 2μm〜50μm |
孔隙率 | 40%±5% |
平面度 | 3μm~5um |
外觀色澤 | 黑色/黑灰色 |
★客製化:可依客戶需求,製作不同尺寸及形狀吸盤 |