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多孔性陶瓷真空吸盤

多孔陶瓷真空吸盤(Chuck Table)**專為高效工業應用設計,具備高耐熱性,能在極端高溫環境中穩定運作。採用微細孔材質高溫燒結,具有良好的耐化學腐蝕性,能抵抗酸鹼等化學物質。其陶瓷的堅硬性提供卓越的耐磨耗特性,保證長期使用不損耗。吸盤材質具備高絕緣性,有效消散靜電,並且不發塵,保持環境清潔。輕量化設計及均勻氣孔結構,使其在真空吸附中表現出色,廣泛應用於精密設備中的Chuck Table,提升工作效率與精度。
可 部 分 區 域 吸 附 吸 附 力 分 佈 均 勻

 1.陶瓷孔徑:2~50um

 1.高平面度要求應用,適用如薄膜及薄物加工

 2.孔隙率:40%±5%

 2.低誘電率,防止靜電產生並能有效消散工件靜電

   3.靜電材料:10-6Ω~10-9Ω

 

產 品 應 用 多 孔 性 陶 瓷 特 性

 1.半導體晶圓吸盤:

   專為半導體製程設備設計,提供穩定的吸附力,確保精密製程中的高效能與準確性。

 高耐熱性 :

    微細孔材質是高溫燒結而成的物質,本身具有耐高溫的特性。

 2.AOI檢查平台:

   廣泛應用於玻璃、晶圓及PCB軟板的缺陷檢測,提升生產線的檢測精度與效率,有效確保產品品質。

 ♦ 耐化學腐蝕性:

   主要製造材料是惰性原料,對酸、鹼等化學反應較弱。

 3.印刷電路板設備:

   提供精密製程解決方案,滿足各種PCB設計需求,提升生產效率與產品品質。

 耐磨耗性:

   具備陶瓷堅硬的特性,耐損耗可長期使用。

 4.曝光機、玻璃切割機及玻璃基板氣浮搬運系統:

   提供精確、高效的處理與搬運解決方案,提升製程的生產效率與精度。

 絕緣性高:

   屬絕緣性材質,具備消散靜電特性。

 5.機械手臂搬運設備:

   專為高效自動化生產設計,提供精確搬運解決方案,提升生產線效率,廣泛應用於製造、組裝等領域。

 輕量不發塵:

   材質內部結構為均勻氣孔,比重係數為2.6〜3.8;完全燒結、不發塵

 

項目 規格
陶瓷孔徑 2μm〜50μm
孔隙率 40%±5%
平面度 3μm~5um
外觀色澤 黑色/黑灰色

★客製化:可依客戶需求,製作不同尺寸及形狀吸盤