全自動化作業流程: FOUP LD --> SPIN清洗 --> SPIN塗佈 --> 直線洗邊 --> HP預烤 --> CASSETTE ULD
高潔淨生產環境: 設備內部無塵等級Class 100
各項設備作業參數設定功能齊全
生產品質掌控: CIM系統 設備製程Recipe收集
各項設備及LAYOUT組成,均可依客製化設計製作
|
項目 |
SPIN塗佈自動線 重點規格 | ||||
|
設備 |
LDULD+ROBOT |
SPIN清洗機 |
SPIN塗佈機 | 直線洗邊機 | HP預烤爐 |
|
型號 |
MLDULDRB-310*310 |
MSPCL-310*310 |
MSPCT-310*310 |
MGLE-310*310 |
M2HP-310*310 |
|
機台尺寸 |
3200(L)*1100(W) *1800(H) mm |
1200(L)*900(W) *1800(H) mm |
1100(L)*900(W) *1800(H) mm |
1000(L)*900(W) *1800(H) mm |
1000(L)*800(W) *1650(H) mm |
|
機台重量 |
700kg |
600kg |
550kg |
280kg |
500kg |
|
主要功能 |
雙Arm晶圓ROBOT 搬送各工位交換片 產品外型整列機構 |
SPIN旋轉清洗 可使用鹼性清洗液 淋沐式超音波 接觸刷洗 N2吹乾 |
SPIN旋轉塗佈 自動供液系統 圓形洗邊功能 |
清洗液方形產品洗邊 洗邊直度偏差 ±1mm內 |
2層腔體上下HP 均溫性 120±3度 |
|
產品尺寸 |
三種尺寸共用作業 : 方形 310*310mm & 300*300mm & 圓形 12" | ||||
|
控制操作 |
PLC系統程式控制, HMI人機介面操作 |
||||
|
生產節拍 |
依客戶各別設備製程參數作業而異 |
||||
