1. 254/185nm 紫外線照射,無電漿製程跳弧損傷線路疑慮;最適合極細線寬晶圓之乾式清潔製程
2.強烈254nm/185nm光波伴隨高濃度臭氧進行表面清潔/改質
3.生物醫學細胞研究<PEG SIDE CHAIN 185nm照射移除>
34.台製長壽命低壓汞燈
5.特殊燈管冷卻設計,最佳化照度表現
6. 腔體誤開警報安全開關
7. 產品加熱盤(選配)設計
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| 項目 | 規格 |
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晶圓尺寸 |
12/8/6 吋 |
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設備尺寸 |
600X550X780cm(WXDXH) |
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需求電力 |
220V /1相/20A |
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廠務氣體需求 |
氧氣 50SLM / 氮氣 50SLM /熱排氣 80CMM |
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加熱盤/工作溫度 |
選配 /300℃ |
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燈管型態 |
低壓汞燈 |
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主波長 |
254/185 nm |
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安全設計 1 |
照射腔超溫警報 |
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安全設計 2 |
照射腔誤開警報 |
1.晶圓表面乾式清潔/改質
2.表面有機污染物移除
3.表面光阻灰化/移除
4.表面能提昇
