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晶圓光阻UV固化機

1.強烈365/254nm紫外光波非接觸式照射,無電荷擊穿問題,最能保護精細IC電路
2.UV照度高達650mw/cm2;產速快
3.適用12吋/8吋晶圓
4.自動照度監控及燈管壽命管理
5.防UV漏光及安全設計完備
6.照射均勻性80%以上(初始值) (直徑300mm圓5點量測)
項目 規格
試用產品

12/8吋晶圓(超薄片為option)

設備尺寸1(寬x深x高)

主設備 120 X 220 X 223 cm

設備尺寸2(寬×深×高)

電控箱 100 X100 X 180 cm

電源入力

AC 380V/220V 50/60Hz  3相

燈管總電功率

19kw

紫外光主波長

365/254nm

傳片機構

晶圓手臂(單/雙ARM可選)( 附MAPPING掃片器)

LOAD PORT

手動/自動 

控制方式

PC BASE  MMI 介面

連線

SECS/GEM(option) 

認證

SEMI S2(option)

 

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