．自動化設備，產能提升
．高潔淨度設計，提高產品良率
．刮刀塗佈設計
．供多種光阻藥液更換作業，多功能性提升
．依客製化需求，機台設計可依產品尺寸大小做變化
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項目 |
規格 |
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機台尺寸 |
1200(L) * 720(W) *2000(H) mm |
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機台重量 |
約 1200kg |
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操作方式 |
PLC系統控制 |
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電源需求 |
3相AC220V 50/60Hz |
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氣壓需求 |
Air 5~7 kg/c㎡ |
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無塵等級 |
Class 1000 |
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產品尺寸 |
7~15.6吋 |
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刮刀型式 |
狹縫式之塗佈刮刀 |
