1. 韶陽旋轉式 Head+集塵機系統 2. 清潔深度可達50mm 。 3. 氣流平衡設計,Particle不外露。 4.內建靜電消除器,快速消除靜電。 5.自動LD/ULD
適用於 光學鏡頭,PCB板 等製程前段，有效去除基板的particle，提升基板整體製程良率。
HEAD 清潔示意圖示
