乾式超音波清潔系統

ROLL TO ROLL非接觸式清潔系統

● 3um particle 去除率高達98%以上。
● 免維修、低損耗、空間易配置。
● 氣流平衡設計，Particle不外流。
● 非接觸式除塵﹐無損傷材質疑慮。
● 可配合客戶設備空間，客製化設計。

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● 光學膜、PI膜、PE膜、軟板、銅箔產業卷狀材料。

RTR USC HEAD 清潔示意圖