1.TactTime:標配單ARM ROBOT ,18 SEC/片
註: 若選配雙ARM ROBOT,作業時間13 SEC/片.
2.具有4個Cassette 作業位置,減少人員對應時間.
3.具有除靜電裝置,避免產品受損.
4.使用日本製晶圓取放ROBOT,更穩定與高信賴性.
5.使用CCD影像精密快速定位系統.可對應4",5",6"晶圓,不須手動調整CCD位置.
6.具有雷刻粉塵吹離與抽除裝置,維持設備內潔淨.
7.具有HEPA 過濾裝置, 設備內潔淨等級Class 100.
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規格 |
規格 |
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外型尺寸(參考) |
1200(D)x1250(W)x1800(H) mm |
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對應材料尺寸(參考) |
Wafer ,4”,5”,6” t=0.4~0.8mm |
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雷射系統定位系統 |
IPG光纖雷射(Fiber) ,標準 20W |
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打標能力 |
英數字元 |
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定位系統 |
百萬畫素 CCD |
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打標重複位置精度 |
±0.1mm |
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材料取放方式 |
Robot |
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操作方式 |
螢幕,滑鼠,鍵盤(PC架構) |
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主電源 |
AC 220V，50/60Hz，單相 |
