光罩清洗首重安全，穩定的設備環境，並能符合製程的清潔要求。並考量節能省電與易操作的特性，創造客戶利潤。
．SPIN旋轉清洗形式，有效去除光罩表面附著污物之洗 淨及去除 ．因應各種產品尺寸，更換固定治具即可作業，提升機 台功能性 ．搭配超音波水洗清洗，去污力提升 ．觸控螢幕介面人性化，操作簡單，上手容易 ．依客製化需求可變更清洗流程
機台尺寸 2190(L)×1660(W)×2025(H)mm 機台重量 約 950 kg 操作方式 PLC系統控制，10.1"彩色觸控螢幕操作 電源需求 3相 AC220V 50/60Hz 氣壓需求 Air 5~ 7 kg /c㎡ 清洗時間 單面 15m in（可設定） 光罩尺寸 420(L)×530(W)×4.8(T)mm 入出料形式 人工上下料 旋轉Stage機構 伺服馬達驅動旋轉，轉速30~1000 rpm 毛刷清洗機構 可選用供給洗劑迴路系統or人工倒液 清潔毛刷清洗槽 毛刷轉動搭配超音波震盪做毛刷清潔 超音波水洗系統 超音波水洗Stage轉速15 rpm CDA吹乾機構 吹乾臂Z軸升降採氣壓缸驅動
機台尺寸
2190(L)×1660(W)×2025(H)mm
機台重量
約 950 kg
操作方式
PLC系統控制，10.1"彩色觸控螢幕操作
電源需求
3相 AC220V 50/60Hz
氣壓需求
Air 5~ 7 kg /c㎡
清洗時間
單面 15m in（可設定）
光罩尺寸
420(L)×530(W)×4.8(T)mm
入出料形式
人工上下料
旋轉Stage機構
伺服馬達驅動旋轉，轉速30~1000 rpm
毛刷清洗機構
可選用供給洗劑迴路系統or人工倒液
清潔毛刷清洗槽
毛刷轉動搭配超音波震盪做毛刷清潔
超音波水洗系統
超音波水洗Stage轉速15 rpm
CDA吹乾機構
吹乾臂Z軸升降採氣壓缸驅動
PLASMA
