以平面顯示器產業來，基板表面的清潔主要有水洗、光洗淨(UV光)與電漿清洗。以下是對UV光洗淨與電漿清洗之簡介 UV光洗淨主要是利由紫外線短波的高能量，提升空氣中氣體分子的動能以產生臭氣，利用氧原子與表面有機物結合，變成二氧化碳或水，再經由廠務系統排出，而達到基板表面的清潔。由於UV光照設的過成會產生過量的臭氧，且UV燈管本身有一定的壽命及更換不易，Running Cost高。 UV光洗淨的原理如下圖所示。

 

       電漿清潔的主要反應機制係利用電漿中離子的高化學活性對清潔物表面進行反應，而將表面有機汙染物反應成二氧化碳或水，再透過廠務系統將氣體排出。

       實驗結果如下表可以看出，對於高溫(HITO)或低溫(LITO)玻璃，不論是電漿、UV光洗淨或水洗，其表面水滴角均可以降至製程所需要的10度以下。但對於彩色濾光片表面之保護層Over Coat(OC)，UV光洗淨與水洗對於表面水滴角無明顯的改善，但電漿在此處仍可維持其潔淨能力。