電漿設備 MAPS-1 CDA
．專利設計，結構簡單，易維護 ．操作成本低 ．無異常引弧、無靜電殘留 ．不需熱機,隨開即用 ．可In-Line或Off-Line 操作電漿供應器 ．適用CDA、N2、Ar 等氣體 ．低溫電漿 ．體積小，安裝容易 ．各式材料之表面清潔、改質 ．增加表面親水性，提高黏著或附著性 ．提昇元件封裝、黏著或印刷之信賴度
．FPD產業之ILB或OLB製程之ITO電極表面清潔 ．玻璃表面清潔 ．改善彩色濾光片(CF)表面親水性，增加鍍膜附著力電 漿產生機構 ．IC或LED封裝前表面清潔或改質 ．PCB之表面清潔、改質 ．其他表面粗化、清潔與改質
電源
220V±10%(單相)
功率需求
1kw
使用氣體
CDA、N2、Ar
氣體壓力
4~6kg/cm2
氣體流量
20~100slm(可調整)
排氣需求
200slm
PLASMA
