韶陽科技獲經濟部技術處「小型企業創新研發計畫(SBIR)」審核通過-線型電漿去光阻技術開發計畫
韶陽科技鑽研電漿技術已有五年的時間，已具備有真空鍍膜(ITO、SiO2濺鍍機)、多管式/單管式大氣電漿技術，對於電漿設備製造已具有相當的經驗，並已有設備於面板廠中運轉。
此次計畫之研發目標在於設計一套可設置於生產線上之線形大氣電漿去光阻設備，利用大氣電漿高化學活性，將基板表面之光阻去除。大氣電漿由於不需昂貴的真空設備，可直接於生產線上架設、運轉，成本低廉，已於光電半導體產業中廣泛運用。
透過此次研發專案，將使韶陽科技在電漿技術領域更趨於完整，能針對國內廠商需求進行評估，設計出符合客戶需求的電漿設備。
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