本装置はクリスタル製造プロセス関連装置です、サーボメカとCCD光学認識システムを使い、トレー上に散乱したLID或いウェハーを規律に整え、配列し、次のプロセスの使用にお役に立ちます。 ハイクリーンの設計で、製品良品率のアップ向上に最適。 ‧高精密な位置決めシステム、高精度、高い良品率。 ‧タッチパネルにてパラメーターの設定。操作簡単、使いやすい。 ‧お客様の仕様に応じて、カスタマイズ対応可能。

装置寸法 980(L)×1150(W)×1780(H)mm 装置重量 About 400 kg 操作方式 System of PC control. Touch Panel fitted with 17” color screen. 電源 3ψAC220V 50/60Hz 気体圧力 Air 5~7 kg/c㎡ クリーン グレード Class 1000 Cycle time 1.2 sec/pcs Tray Holder 170(L)×130(W)mm トレー移動メカ サーボモーターとボールスクリューねじの搭載 Mechanism of moving nozzle サーボモーターとボールスクリューねじの搭載 、位置決め精度は± 0.01mm