細かい物件や形状の複雑隙間穴多いの品物を真空や蒸気の原理で、洗剤(HFE-7200)で洗浄し。 但し、スパッタリング処理済みや接着剤(有機物)有りのウエハーの洗浄は不可です。 ‧タッチパネルを用い、操作簡単で、使いやすい。 ‧超音波の水洗浄を搭載、清潔度向上に最適。 ‧連続式で洗浄を1回で完成し、作業の便利さ及び量産数のアップ向上に最適。 ハイクリーンの設計で、製品良品率のアップ向上に最適。

装置寸法	1300(L)×1300(W)×1910(H)mm
装置重量	About 800 kg
操作方式	System of PC control. Touch Panel fitted with 10.1”color screen.
電源	3ψAC220V 50/60Hz
気体圧力	Air 5~7 kg/c㎡
冷却水仕様	1  kg/c㎡、40 L/min、15 ℃
窒素仕様	250 L/min、2  kg/c㎡
クリーン グレード	Class 1000
Cycle time	30 min/次
洗浄装置寸法	ψ300×H240mm (可放置7個×2層洗淨籠) (7個×2層の洗浄カゴの放置可能)
洗浄装置仕様	超音波装置、蒸気供給器、真空ポンプ
洗剤	HFE-7200