安定で、スムーズな運搬を実現しています。 プロセスによりメカ材質の調整対応可能、２次汚染を防ぐ。 ‧G3 (540*540)鉄製フレーム運搬用、3軸円筒座標系ロボットです。 ‧普通環境に適用の軽質アルミ製フォークと電磁石の搭載使用。 ‧スムースに作動、軽快に位置決め。 ‧高信頼性、高剛性、低ミス。 ‧付属品完備、プログラムサポート。
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‧外部操作用。 ‧アーム位置ティーチング用。 ‧運転パラメーター設定可能。 ‧ローカルモードで操作。 ‧異常メッセージ表示可能。
‧インラインのローダー、アンローダー＆バッファーの応用 ‧カセットとの搭載使用可能 ‧ID Reader との搭載で基板管理可能

構造	Plane multi-stage model
ストローク	R axle: Max 1200mm
	Z axle: Max 500mm
	θ axle: 330°
最大速度	R axle:  600mm / SEC
	Z axle:  200mm / SEC
	θ axle: 150° / SEC
荷重	5㎏ / ARM
繰返し精度	± 0.2mm
重量	100㎏
騒音	75dB以下
基板対応寸法	540＊540＊2.3 t mm
制御インターフェース	CC Link / RS232 Card
パワー	AC200～230V±10％ ，単相50/60HZ