プラズマの洗浄には物理の反応と化学反応二種類有り。 

 

プラズマ洗浄の化学反応の優れたところ

 

(1)処理物が安定しているの発揮性のよい物質、処理物の再度汚染の恐れ無し。 

 (2)化学反応の選択性が高い、基板表面に傷を付けず。 

 欠点：

(1)清潔度を向上するために、高濃度の酸素や水素が必要。 

 (2)水素の安全性及び酸素酸化性の顧慮。 

 

プラズマ洗浄が物理反応方式で処理の場合

優れた点

(1)効率が高い。

(2)気体の使用量が少ない。

欠点：

(1)選択性が低い、処理物に傷つけやすい。

(2)処理物の不安定、処理物に2次汚染の恐れ有り。