Plasma Technology introduction

       プラズマとは


プラズマ は、正の電荷をもつ粒子(イオン)と負の電荷をもつ電子が電離状態で同程度分布し、全体としてほぼ電気的中性を保つ粒子集団のこと。固体、液体、気体に続く、物質の第4形態といわれている。 プラズマは気体、液体と同じく、流体の部類に属するが、プラズマを形成する個々の粒子(電子・イオン)は電荷を帯びている。電磁場が存在する場合はクーロン力、ローレンツ力がはたらき、気体や液体には見られない独特の性質(電磁流体力学的性質)を示す。

物質には「固体」 「液体」「気体」 三つの状態:「物質の3態」を有ります。例えば、水は「液体」ですが、暖める(エネルギーを加える)と水蒸気=「気体」になります。逆に冷やすと(エネルギーを減らす)と氷=「固体」になります。

 「気体」にさらにエネルギーを加えると、分子が激しくぶつかり合って電荷を帯びたイオン.電子が中性のラジカルと呼ばれる活性な状態になります。これを「プラズマ」と言い、物質の「第4の形態」と呼ばれます。
アルゴンで電離したの例:e- + Ar -> Ar+ + 2e-

正の電荷をもつ粒子(イオン)と負の電荷をもつ電子が電離状態で同程度分布し、分子が激しくぶつかり合って電荷を帯びたイオン.電子が中性のラジカルと呼ばれる活性な状態になります、
このように産生したプラズマは下図のように表す。


 

さまざまなプラズマ電離方式:
(1) (Molecular dissociation)
e- + A2 -> 2 A + e-
(2) (Atomic ionization)
e- + A -> A+ + 2e-
(3) (Molecular dissociation)
e- + A2 -> A2+ + 2e-
(4) (Atomic excitation)
e- + A -> A* + e-
(5) (Molecular excitation)
e- + A2 -> A2* + e-

 

 

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