大気圧プラズマクリーニング装置 MAPS-1 CDA

 

  • 特許設計、構造簡単、使いやすい
  • 低ランニングコスト
  • 電源スイッチのオン/オフですぐ使える。　
  • In-Line＆Off-Line 処理可能
  • CDA、N2、Ar 等の気体に適用
  • 低温プラズマ
  • 豊富な電極設計

  • FPD業界のILB、OLBプロセスのITO電極洗浄
  • ガラスの表面洗浄
  • カラーフィルター(CF)表面親水性の向上、接着強度アップ
  • IC、LEDカプセル化前の表面洗浄、改質
  • PCBの表面洗浄、改質
  • その他の表面粗化、洗浄と改質





Requirement of 電源

220V±10%(1ψ)

パワー

1kw

適用気体

CDA、N2、Ar

気体圧力

4~6kg/cm2

気体流量

20~100slm (max )

排気量

200slm