- 特許設計、構造簡単、使いやすい
- 低ランニングコスト
- 電源スイッチのオン/オフですぐ使える。
- In-Line＆Off-Line 処理可能
- Ar+O2 の気体に適用
- 低温プラズマ
- 豊富な電極設計
- FPD業界のILB、OLBプロセスのITO電極洗浄
- ガラスの表面洗浄
- カラーフィルター(CF)表面親水性の向上、接着強度アップ
- IC、LEDカプセル化前の表面洗浄、改質
- PCBの表面洗浄、改質
- その他の表面粗化、洗浄と改質
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Requirement of 電源
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220V± 10% (1ψ) |
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パワー
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150w,RF(13.56MHZ) |
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適用気体
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Ar+O2 |
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気体圧力
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2kg/cm2 (max) |
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気体流量(Ar)
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3000sccm (max) |
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気体流量 (O2)
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100sccm (max) |
冷却水
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20℃，10L/min |
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PLASMA
