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雷射自動打標機 MLSR-6WF
   雷射自動打標機 MLSR-6WF
設備特色
設備概要

1. TactTime:標配單ARM ROBOT  ,18 SEC/

  *: 若選配雙ARM ROBOT,作業時間13 SEC/.

2. 具有4Cassette 作業位置,減少人員對應時間.

3. 具有除靜電裝置,避免產品受損.

4. 使用日本製晶圓取放ROBOT,更穩定與高信賴性.

5. 使用CCD影像精密快速定位系統.可對應4",5",6"晶圓,不須手動調整CCD位置.

6. 具有雷刻粉塵吹離與抽除裝置,維持設備內潔淨.

7. 具有HEPA 過濾裝置, 設備內潔淨等級Class 100.

 

規格樣式