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晶圆紫外光ERASE/光清洗灯管
   晶圆紫外光ERASE/光清洗灯管
设备特色

n   254m光波非接触式照射,无电浆电荷击穿问题,最能保护精细IC电路

n   灯管可并排增大制程处理面积,灯管栅型设计(GRID TYPE)均匀性特佳

n   台制低压汞灯采冷阴极设计,使用寿命长(一般2000-5000H更换)

n   正常使用条件保固1000HR

n   无臭氧逸散问题,设备不需装置热排管

n   更换灯管简易,使用者可自行更换

 

设备盖要

灯管波长光谱:

 

应用产业:

 

1. 晶圆/驱动IC记忆抹除(MEMORY ERASE)制程

2. 晶圆光清洗制程

3. 晶圆印墨/胶带去除

4 . IC封装/贴合前清洁/改质

 

 

规格样式

项目

                                         规格                     

灯管型号

MLA-GL005-02

适用产品

12/8/6吋晶圆及薄型工件

灯管尺寸(xx)

74X10X3 cm (可依需求订制)

灯管型态/功率/产地

栅型低压汞灯/350W/台湾

紫外光主波长

254nm

UVC照度(新灯)

30 mw/cm2 (日系测表) /70 mw/cm2(美系测表)